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【Live配信セミナー】
光干渉法による微細三次元表面形状・膜厚分布測定の最新技術と測定ノウハウ

8月開催 化学系セミナー  更新日:2021年7月 1日
 セミナー番号【108205】8/30.9/6 講師1名
★ガラスが「くっつく」には,どの因子が効くのか?★接着剤と被着材との熱膨張係数と接着強度の関係性
★ガラスに使える接着剤,ガラスを用いた接着・封止,陽極酸化などの表面処理の選び方 ,使い方

【Live配信セミナー】
光干渉法による微細三次元表面形状・膜厚分布測定の最新技術と測定ノウハウ


■ 講 師


技術コンサルタント 北川 克一 氏 


<資格>
東京大学情報理工学博士、計測制御エンジニア(計測自動制御学会認定)
                                                 
<略歴>
東京大学計数工学科卒
東レ(株)、東レエンジニアリング(株)にて画像処理応用システムの研究開発に従事
現在、画像処理と光干渉計測を専門とする技術コンサルタント

<主な著書>
「最新 光三次元計測」(吉澤徹 編著), 朝倉書店 (2006) (分担執筆)
"Handbook of Optical Metrology - Principles and Applications -", Edited by Toru Yoshizawa, CRC Press (2009)(分担執筆) 

■ 開催要領
日 時

2021年8月30日(月) 10:30~16:30
2021年9月06日(月) 10:30~16:30

会 場 : ZOOMを利用したLive配信 ※会場での講義は行いません
聴講料 :
1名につき77,000円(消費税込み,資料付)
〔1社2名以上同時申込の場合のみ1名につき71,500円〕

■ Live配信セミナーの受講について


・本講座はZoomを利用したLive配信セミナーです。セミナー会場での受講はできません。

・下記リンクから視聴環境を確認の上,お申し込みください。
 → https://zoom.us/test

・開催日が近くなりましたら,視聴用のURLとパスワードをメールにてご連絡申し上げます。
 セミナー開催日時に,視聴サイトにログインしていただき,ご視聴ください。

・Zoomクライアントは最新版にアップデートして使用してください。
Webブラウザから視聴する場合は,Google Chrome,Firefox,Microsoft Edgeをご利用ください。

・パソコンの他にタブレット,スマートフォンでも視聴できます。

・セミナー資料はお申込み時にお知らせいただいた住所へお送りいたします。
 お申込みが直前の場合には,開催日までに資料の到着が間に合わないことがあります。ご了承ください。

・当日は講師への質問することができます。可能な範囲で個別質問にも対応いたします。

・本講座で使用される資料や配信動画は著作物であり,録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止いたします。

本講座はお申し込みいただいた方のみ受講いただけます。
 複数端末から同時に視聴することや複数人での視聴は禁止いたします。

・Zoomのグループにパスワードを設定しています。部外者の参加を防ぐため,パスワードを外部に漏洩しないでください。
万が一部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。


プログラム

【セミナープログラム】

1.微細3次元表面形状計測入門
 1.1 各種測定法の概要
  (1)触針式
  (2)光触針式
  (3)SPM(AFM)
  (4)光切断式
  (5)共焦点顕微鏡
  (6)光干渉式
 1.2 各種測定法の性能比較

2.光干渉式表面形状測定法
 2.1 各種干渉光学系
 2.2 垂直走査法(白色干渉法)の原理と測定例
 2.3 位相シフト法の原理と測定例
 2.4 応用機器

3.光干渉式表面形状測定装置の使い方とノウハウ
 3.1 段差と急斜面
 3.2 狭視野と広視野
 3.3 超高精度(サブナノメートル精度)
 3.4 高速測定
 3.5 透明膜に覆われた表面形状
 3.6 校正法
 3.7 装置組み込み

4.光干渉式表面形状測定装置による透明膜の測定
 4.1 各種膜厚測定技術
 4.2 光干渉法による表面・裏面・膜厚同時測定の原理
 4.3 透明厚膜の測定法
 4.4 透明薄膜の測定法
 4.5 プラスチック・フィルムの測定
 4.6 屈折率の測定
 4.7 膜厚と屈折率の同時測定

5.三次元データ処理
 5.1 三次元表示ソフト
 5.2 欠測値補間とノイズ除去
 5.3 平面補正と曲面補正
 5.4 粗さパラメータ
 5.5 形状計測(高さ、面積、体積など)
 5.6 ステッチング(画像連結)

6.光干渉測定の最新技術
 6.1 ワンショット干渉測定
 6.2 3波長干渉測定
 6.3 干渉色解析による膜厚・形状測定
 6.4 波長走査・波長シフト法による透明板の形状・板厚同時測定

【質疑応答】