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【Live配信セミナー】
洗浄のメカニズム、不良対策と評価法

3月開催 化学系セミナー  更新日:2021年2月 2日
 セミナー番号【104207】4/7 講師1名
★ 洗浄剤の選定・調整、装置の設計から不良対策まで!

【Live配信セミナー】
洗浄のメカニズム、不良対策と評価法


■ 講師
エステックC(同) 代表 鈴木 克己 氏

■ 開催要領
日 時 :
2021年4月7日(水) 10:30~16:30

会 場 : ZOOMを利用したLive配信 ※会場での講義は行いません
聴講料 :
1名につき 55,000円(消費税込、資料付)
〔1社2名以上同時申込の場合のみ1名につき49,500円〕

■ Live配信セミナーの受講について
・本講座はZoomを利用したLive配信セミナーです。セミナー会場での受講はできません。

・下記リンクから視聴環境を確認の上、お申し込みください。
 → https://zoom.us/test

・開催日が近くなりましたら、視聴用のURLとパスワードをメールにてご連絡申し上げます。
 セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。

・Zoomクライアントは最新版にアップデートして使用してください。
 Webブラウザから視聴する場合は、Google Chrome、Firefox、Microsoft Edgeをご利用ください。

・パソコンの他にタブレット、スマートフォンでも視聴できます。

・セミナー資料はお申込み時にお知らせいただいた住所へお送りいたします。
 お申込みが直前の場合には、開催日までに資料の到着が間に合わないことがあります。ご了承ください。

・当日は講師への質問することができます。可能な範囲で個別質問にも対応いたします。

・本講座で使用される資料や配信動画は著作物であり、録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止いたします。

・本講座はお申し込みいただいた方のみ受講いただけます。
 複数端末から同時に視聴することや複数人での視聴は禁止いたします。

・Zoomのグループにパスワードを設定しています。部外者の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
 万が一部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。


プログラム

【講座の趣旨】
 本セミナーでは洗浄の概構想、理論等を用いた詳細設計、現場評価・管理、不良対応を幅広く説明いたしますので、洗浄全体を理解いただくとともに、品質向上・コスト低減活動の一助になればと思っております。
 洗浄の概構想では、それぞれの洗浄方法の持つ特徴をベースに、装置や設備(純水、排水等)を考慮しトータルで基本構成を決める方法を紹介していきます。
 次に洗浄メカニズムを基に基礎解析をしながら具体的な洗浄液の選定もしくは調整方法、洗浄装置の設計の注意点を説明いたします。現在の貴社工程の良否判断にも使えます。
 しかしこのように基本が確立されている洗浄工程でも量産では変動要素があるため日々の管理が必要になります。現場でできる洗浄品質等の簡易評価法とともに、工程管理項目や記録のポイント、装置や純水設備のメンテナンス等の注意点を紹介します。
 また洗浄不良と対策例を示しながら対応方法の基本を、陥りがちな行動を含め説明します。洗浄不良は後工程でわかる場合も多いので注意が必要です。
 最後に高品質洗浄への取り組みとして、洗浄理論で使用する各種データーの取得方法やそれらを使っての洗浄シミュレーション例題を提示します。また希薄な薬液と室温で精密洗浄できる機能水洗浄の紹介を行います。
【習得できる知識】
・湿式・乾式の洗浄工程の組み立て方法、管理方法がわかる
・洗浄の簡易評価ができる
・洗浄不良への対応方法がわかる


1.洗浄の基礎
 1.1 汚れの種類
 1.2 洗浄方法選択のポイント
   ・洗浄適正
   ・設備上の制約

2.湿式洗浄の除去メカニズム
 2.1 5つの基本工程と3つの除去メカニズム
  (1)濡れ
  (2)除去
   ・剥離、エッチング
   ・溶解
   ・分解
  (3)分散
   ・再付着防止
  (4)排出(リンス)
  (5)乾燥
 2.2 水系洗浄
  (1)洗浄剤について
   ・DLVO理論応用による汚れ剥離と再付着防止
   ・界面活性剤と酸、アルカリの働き
   ・電位-pH図応用によるエッチング
  (2)排出(リンス)
   ・PIV応用による排出効率向上
  (3)乾燥
 2.3 準水系洗浄
  (1)洗浄剤について
   ・ハンセン溶解度パラメーター応用による溶剤選定
  (2)排出(リンス)
  (3)乾燥
 2.4 非水系洗浄
  (1)洗浄剤について
   ・ハンセン溶解度パラメーター応用による溶剤選定
  (2)排出(リンス)
  (3)乾燥
 2.5 装置、治具
  (1)超音波&メガソニック洗浄
  (2)その他の機械力印加洗浄
   ・スクラブ
   ・ジェットスプレー
   ・二流体シャワー
  (3)治具   

3.乾式洗浄の除去メカニズム
 3.1 減圧プラズマ
 3.2 大気圧プラズマ
 3.3 UV、オゾン
 3.4 レーザー
 3.5 アイス、ドライアイス、エアロゾル

4.(乾式+湿式)洗浄の除去メカニズム
 4.1 アッシング→熱硫酸
 4.2 UV→オゾン水
 4.3 オゾンガス→水洗浄

5.設備
 5.1 純水製造
 5.2 排水、排ガス処理

6.洗浄不良と対策
 6.1 洗浄液選定起因の不良
 6.2 洗浄液管理起因の不良
 6.3 同一洗浄液での異材質混合流動起因の不良
 6.4 純水起因の不良
 6.5 乾式洗浄での再デポ起因の不良
 6.6 UV管理起因の不良
 6.7 不良対策方法

7.現場でできる簡易の品質評価方法
 7.1 製品
 7.2 洗浄液
 7.3 純水
 7.4 洗浄装置

8.高品質洗浄への取り組み
 8.1 湿式洗浄
   ・5つの基本工程の評価と改善
   ・超音波洗浄の改善
   ・機能水洗浄
 8.2 乾式洗浄
   ・反応メカニズムの評価と改善
   ・装置構成
 8.3 洗浄工程の管理方法
   ・日々の記録・解析
   ・装置(純水製造装置、洗浄装置)の管理注意点

【質疑応答】