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クリーンルームの 清浄度維持とその計測・評価

11月開催 化学系セミナー  更新日:2018年9月28日
 セミナー番号【812211】12/7 講師2名
★ 微小塵埃の挙動メカニズムを知り、持ち込ませないための作業員管理と教育方法とは?

クリーンルームの 清浄度維持とその計測・評価


■ 講師
1. 新日本空調(株) 技術本部 技術企画部 参事 水谷 旬 氏
2.
日本カノマックス(株) アジア事業開発室 大竹 哲哉 氏

■ 開催要領
日 時 :
平成30年12月7日(金) 10:00~17:00

会 場 : [東京・五反田] 技術情報協会 8F セミナールーム
聴講料 :
1名につき55,000円(消費税抜き、昼食・資料付き)
〔1社2名以上同時申込の場合のみ1名につき50,000円(税抜)〕

※定員になり次第、お申込みは締切となります。


プログラム

【10:00~15:00】

1.クリーンルームの基礎、洗浄度維持と作業管理手法

新日本空調(株) 技術本部 技術企画部 参事 水谷 旬 氏

 
1.クリーンルーム(以下,CR)の基礎
 1-1 清浄度とは何か?
 1-2 CRの種類・形式・変遷

2.クリーンルーム内の汚染物質[塵埃]
 2-1 塵埃の性質
  1) 気流との関係,拡散範囲
  2) [演習]空気中で微小粒子はどのように移動するのか?
  3) 発塵による塵埃の拡散(その汚染範囲は?)
 2-2 人・物からの発塵
  1) 拡散範囲,内圧変動,摺動発塵
  2) 製品と人と製造装置の位置関係の影響
  3) 衣類の摺動による発塵
  4) 人からの発塵

3.クリーンルーム内の作業員管理と教育
 3-1 CRの4原則
 3-2 クリーンスーツ着衣人体からの発塵機構
  1) クリーン手袋からの発塵
  2) クリーンスーツ内の圧力変動
  3) クリーンスーツを通しての発塵
  4) [演習]人体からの塵埃拡散範囲
 3-3 人の適正な位置取り・適正な動作とは?
 3-4 クリーンスーツの選定,洗濯頻度
  1) クリーンスーツ選定の要件
  2) クリーンスーツのフィルタ効率と運動発塵量との関係
  3) クリーンスーツの劣化
 3-5 クリーン手袋は上か下か?
 3-6 エアシャワーの効果

4.さらなる清浄化への指針(対策)
 4-1 微小塵埃/ミスト/気流を把握 → そして対策へ
 4-2 普遍的な対策コンセプトとは?
 4-3 除去/抑制の手順と考え方

5.クリーンルームの清掃
 5-1 清掃の種類と方法
 5-2 各部位の清掃方法・頻度,特定表面の清掃
 5-3 注意点

6.クリーンルームの国内外関連規格の最新動向
  ISO規格,JIS規格,JACA指針など

7.参考文献紹介
  (初級~上級まで,主要なものを表紙画像と内容も含め紹介)

【質疑応答】
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【15:15~17:00】

2.クリーンルーム内での浮遊微粒子の挙動発生と留意点、モニタリングの必要性

日本カノマックス(株) アジア事業開発室 大竹 哲哉 氏

 

1.浮遊粒子の挙動
 1-1 粒子の発生のメカニズム
 1-2 粒子の分離(慣性、重力、静電気、拡散、熱詠動)
 1-3 粒子の沈着、付着

2.クリーンルーム内での汚染要因
 2-1 発塵源
 2-2 作業員からの発塵

3.浮遊粒子の計測
 3-1 計測技術(顕微鏡、光散乱式、凝縮法等)
 3-2 光散乱式パーティクルカウンターの原理

4.クリーンルームでの粒子モニタリング
 4-1 スポット測定
 4-2 連続モニタリング
 4-3 測定での注意点(サンプリング)

5.クリーンルーム内作業での留意点とモニタリングの必要性
 5-1 歩行、作業、
 5-2 モニタリング例

【質疑応答】